メンテナンス

取扱メンテナンス部品

取扱メーカー 品  名 部品写真(一例)
Kyocera
京セラ製
ポーラスチャックプレート
Porous Chuck
SMC製 多継手回転継手
Rotary Joint
リックス製 メカ式回転継手
Rotary Joint
国内各社 電装部品&シーケンスソフト、メカ部品&設計等